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윤순길 교수 연구실 Nano Letter web에 게제 2010-01-06
작성자 : 관리자 조회수 : 1314
 

금번 충남대학교 재료공학과 교수인 윤순길 교수 연구실에서 다음과 같은 내용으로 Nano Letter 에 실려 홍보하고자 합니다.

제목 :  "Phase-change InSbTe nanowires grown in situ at a low temperature by metalorganic chemical vapor  deposition" by Jun-Ku Ahn, Kyoung-Woo Park, Hyun-Jun Chong, and Soon-Gil Yoon

           2009. 12. 28 일 Web


  이들 내용은 MOCVD 로 상변화 물질인 InSbTe 재료를 저온 (250oC) 에서 단지 증착압력만을 변화시켜 박막과 나노와이어를 제조할 수 있는 공정을 개발하였다. 이 재료는 현재 삼성등에서 미래의 비 휘발성 메모리소자로 GeSbTe 를 적용하려는연구가 활발하나 이를 MOCVD 로 high aspect ratio 를 갖는 Trench 구조에 채우기가 매우 어렵다. 또한 이재료는 외국에서 모든 특허권을 갖고 있어 반도체 회사들은 새로운 재료를 찾던중 InSbTe 가 대체 물질로 대두되어 KIST 등에서 sputtering 등으로 연구하고 있는 실정이다. 본 연구실에서는 이미 이재료를 5:1 의 aspect ratio 를 갖는 trench 구조에 채워 J. Materials Chemistry (IF : 4.6) 에 출판될 예정이며 금번 Nano Letter 에는 박막과 나노와이어를 자유롭게 제조할 수 있는 제조공정이 크게 부각되어 실리게 되었다. 이 논문은 2009 년 12월 28일에 web 상에 발표되었다.

 
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